SuperViewW白光干涉晶圓3D形貌測(cè)量儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。
CEM3000系列納米級(jí)成像掃描電鏡運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì),讓用戶在使用時(shí)不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,滿足不同樣品的觀測(cè)需求。
CEM3000系列毫米級(jí)景深掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。
中圖儀器NS系列探針式電池薄膜臺(tái)階厚度儀應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng),其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測(cè)量沉積薄膜的臺(tái)階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺(tái)階高度等。
中圖儀器SEM掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非??旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000系列桌面式能譜掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測(cè),具有高空間分辨率。
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