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中圖儀器VT6000系列激光掃描共聚焦顯微鏡?在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學(xué)3D白光干涉儀?分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測量前工作。結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光測量光學(xué)干涉儀用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量?？梢詼y量可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

以共聚焦技術(shù)為原理的VT6000光學(xué)共聚焦掃描顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能；以白光干涉技術(shù)為原理，可對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。