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SuperViewW1白光干涉儀檢測儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等；以及自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

3d白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

VT6000系列3d激光共聚焦顯微鏡整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計；配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。

臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。作為一種接觸式表面形貌測量儀器，NS系列探針式國產(chǎn)臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

VT6000中圖轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

CHOTEST中圖儀器SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進行檢測，可用于成品質(zhì)量的管理，確保良品合格率。