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中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍，可以在相對較低的真空度下工作，通常只需要兩級真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求，而不需要像場發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境，這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本，還縮短了抽真空的時(shí)間，提高了工作效率。

中圖儀器VT6000系列白光干涉共聚焦顯微鏡光源采用白光LED，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，保證儀器的高測量精度。

NS系列膜厚臺(tái)階儀其線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

CEM3000系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍控制相對簡單，操作容易上手，不需要專業(yè)的、長時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握其基本操作技能，適合廣大用戶使用，尤其是對于那些沒有深厚電子顯微鏡操作經(jīng)驗(yàn)的初學(xué)者或非專業(yè)技術(shù)人員來說，更容易快速熟悉和使用設(shè)備，開展相關(guān)的檢測和研究工作。

中圖儀器CEM3000高分辨率科研臺(tái)式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。

SuperViewW桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。